半導体製造において、歩留まり低下は常に大きな課題です。
不良の根本原因を特定するには、膨大なウェハーマップデータや製造プロセス情報を多角的に分析する必要があり、多くの時間と労力がかかります。
本セミナーでは、ビジュアルデータサイエンスツール「Spotfire」を活用し、まずウェハーマップ上の不良パターンを面内の領域(中心部、エッジ部など)ごとに分析することで、その特徴を明確化します。
この領域ごとの特徴を利用して効率的にグルーピングし、加工装置との相関分析までをシームレスに行う一連の流れをご紹介いたします。
タイトル | 領域で捉えるウェハー不良 ~面内パターン分析と装置情報による原因究明~ |
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日程 | 2025年6月12日(木) 13:00~13:45 |
申込締切 | 2025年6月10日(火) |
受講対象者 |
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参加費用 | 無料(事前登録制) |
開催形式 |
オンラインセミナーでの開催
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主催 | NTTコム オンライン・マーケティング・ソリューション株式会社 |
お問合せ | NTTコム オンライン・マーケティング・ソリューション株式会社 セミナー運営事務局 Email:info@nttcoms.com |
準備 |
当日ご準備いただくもの
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備考 | 主催社と同業他社の方のお申し込みは、お断りする場合がございます。 個人のご参加はお断りさせていただいております。 |
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13:00~13:45
領域で捉えるウェハー不良
~面内パターン分析と装置情報による原因究明~ -
NTTコム オンライン・マーケティング・ソリューション株式会社
データサイエンティスト
三上 康男大手製造メーカーの工場製造ラインの立ち上げを経験。その後、生産技術者としてプロセス改善や新設備・技術の導入、新製品立ち上げなど幅広い業務に従事。その専門性を活かし、企業の生産プロセスや品質管理の向上に取り組む。現在はデータサイエンティストとして、TIBCOのアナリティクス製品の活用支援を担当。